半导体喷淋头，英文名Showerhead，外形为密密麻麻的分布着几百上千个微小的通孔的圆盘，其中用于蚀刻设备等要求极高使用场景的碳化硅（CVD-Sic）Showerhead，价格昂贵，因为加工精度问题，此类材质的该部件仍然依赖进口。

Showerhead作为半导体设备的核心零部件，其实际可以参与到半导体制备的清洗、刻蚀、沉积等关键工艺环节，其质量将直接影响半导体制备的工艺和产品质量。在半导体制备过程中，Showerhead广泛应用于半导体制造工艺中的气体分配装置。

在实际生产中，因为使用的场景及实际要求的精度不同，目前Showerhead可以根据其材料组成分为以下两大类：

金属Showerhead的材质包括铝合金、不锈钢和镍金属等，其中使用最广泛的金属Showerhead材质是铝合金，因为其具有良好的导热性能，同时具有较强的抗腐蚀能力，同时其来源广泛，且易于加工。

非金属Showerhead的材质包括碳化硅（CVD-SIC）、单晶硅、石英玻璃和高纯度陶瓷等。此类产品主要应用在芯片加工设备中，并且使用在多个关键工艺制程位置，其对Showerhead的材质和加工后的该零件质量尤其是其孔的一致性要求极高。

半导体技术的快速发展，对实际加工制程中的Showerhead质量要求极高。该零件上的微孔数量不仅极多，且要求其孔径具有极高的一致性，传统的硬质合金刀具针对此类非金属材料的加工时磨损快，已经无法满足产品的加工需求，超硬刀具的出现解决了这个问题。

整体硬质合金刀具加工极多孔时，因为刀具寿命问题，导致加工一个非金属的Showerhead需要换刀，同时因其磨损较快，先后加工的微孔直径差异较大，而且本身微孔的尺寸很小，更加加剧了刀具磨损的速度，其孔的尺寸偏差较大。而换成PCD微钻，其耐磨性极强，加工寿命高，面对数量极多的微孔加工，由于其刀具磨损较小，加工一整个Showerhead中途不用换刀，且加工的微孔孔径一致性好，完全可以替代其他类型刀具进行加工。

我司作为深耕超硬刀具的公司之一，经过二十多年的技术积淀，在超硬刀具的使用有着丰富的经验，通过了解分析目前我国半导体加工之现状，积极展开对此类刀具的研发，逐步替代进口刀具，与客户共同发展，提升半导体整体的加工水平，为国家的工业进步做出贡献，也在前行中增强自身的技术能力，拥有更强的市场竞争力，走出国门，拥抱世界。